国产小型桌面式快速退火炉 4寸真空

国产小型桌面式快速退火炉 4寸真空

产品优势

1. 真实反应实时温度，不会使用低灵敏度单元隐藏温度过冲，温度不稳不是样品实际温度等问题。自研非传统PID温控，即使在最大升温速率下仍可保证不过冲。

2. 优秀的热交换系统，比同类产品功耗低70%，因此也善于长时间加热，和国外同类产品比对水冷要求低，耗电量低，高温持续加热时间长。不会像某些产品那样因高温长时间加热造成腔体产生异味甚至损坏。

3. 使用多温区控温，可通过APP界面调节温度均匀性。优秀的光源冷却系统确保光源寿命达到国际水平。科学的波长分布保证半导体材料可有效吸收。不会像某些产品遇到脆弱样品就发生变形甚至裂片。

4. 异常保护，安全设计，对氢气，氨气等特殊气氛的使用经验丰富。30年间用户安全使用无事故。对军线，美国芯片法案禁运企业使用设备保障有力。20年前设备仍可正常维护。供应链安全，设备配件供应，货期有保障。

国产小型桌面式快速退火炉 4寸真空

规格：

快速退火炉是一种用于材料科学和半导体工业的高效热处理设备，通过快速升降温（通常在几秒到几分钟内达到目标温度）实现对材料的精确退火处理。其核心优势在于快速热响应和精确温度控制，广泛应用于半导体晶圆、薄膜材料、金属合金等的工艺优化。

应用领域

1.半导体制造：

离子注入后激活掺杂原子（如硅晶圆中磷、硼的激活）。

修复晶格缺陷，提升电子迁移率。

2.薄膜材料：

金属薄膜（如铜、铝）的致密化和导电性优化。

透明导电氧化物（如ITO薄膜）的结晶度调控。

3.新能源材料：

太阳能电池（如PERC、HJT电池）的钝化层退火。

锂离子电池电极材料的晶相调整。

4.科研领域：

纳米材料（量子点、石墨烯）的快速合成与改性。