德国进口 SPS匀胶机 POLOS SPIN COATER

POLOS 450 Advanced

   德国进口 SPS匀胶机 POLOS  SPIN COATER®Advanced系列旋转处理器是先进的系统，提供精确和可重复的工艺控制。一个空气动力学效率高的腔室提高了均匀性，而天然聚丙烯工艺腔室保证了无污染、易于清洁的工艺区域。所有单元都具有可编程的CW和CCW旋转以及puddle交换摆动功能。 

德国进口 SPS匀胶机 POLOS  SPIN COATER@ 450 Advanced是一款桌面型单基板旋转器，配有NPP外壳、旋转杯和手动化学分配器。适用于直径最大为500毫米的圆形基板和350x350毫米的方形基板。

专为半导体、光伏、MEMS及纳米材料领域设计，适用于多种基材的涂覆加工，性能可靠，适配严苛工艺要求。

一．特点：

1. 自动顺序或并行化学分配；

2. 最多6个喷嘴，每个均可独立编程；

    

   二．适用工艺范围

   涂覆（Coating）

   清洗（Cleaning）

   冲洗/干燥（Rinse/Dry）

   显影（Developing）

   蚀刻（Etching）

   PDMI及其他特殊工艺

    

   三．配置