德国进口 POLOS匀胶机 SPS旋涂仪SPIN

POLOS SPIN300x

 我们全新改进设计的POLOS® SPIN300x匀胶机型号现已开放订购。该型号提供精准且可重复的工艺控制，主体材质采用天然聚丙烯（NPP），或可选耐化学腐蚀的**聚四氟乙烯（PTFE）**版本。

德国进口 POLOS匀胶机 SPS旋涂仪SPIN基于市场验证的经典型号升级开发，提供标准版与进阶版两种配置，可兼容处理：

①直径最大300 mm的圆形基板

②200×200 mm的方形样品

专为半导体、光伏、MEMS及纳米材料领域设计，适用于多种基材的涂覆加工，性能可靠，适配严苛工艺要求。

一．创新设计亮点

优秀的结构设计

特殊外壳与排水系统设计，支持桌面式与嵌入式安装模式自由切换。模块化结构允许用户通过多样化配件升级设备，优化点胶操作与整体流程便捷性。

二．电机归位位置自定义

全新SPINx系列支持设定电机归位位置，便于无缝集成至机器人控制/自动化产线环境。

三．便捷腔体访问

真空吸盘高于匀胶碗边缘，确保机械手末端执行器、镊子或真空吸笔可直接触达晶圆/基板，满足机器人操作的特殊需求。

四．自动开盖系统

可通过用户界面或脚踏开关（适配手套箱环境操作）实现盖体自动开闭

支持在工艺配方结束时自动触发开盖动作

五．液体过滤保护装置

德国进口 POLOS匀胶机 SPS旋涂仪SPIN系列配备液体过滤器，有效保护匀胶机核心组件（驱动单元、真空阀、真空传感器及伺服控制器）。该装置可拦截通过工艺腔或真空吸盘进入管路的液体，所有光刻胶或流体将被安全收集至透明观察瓶内（通过设备外壳视窗可实时监测）。维护建议：定期检查收集瓶并按需清理残留液体。

六．适用工艺范围

涂覆（Coating）

清洗（Cleaning）

冲洗/干燥（Rinse/Dry）

显影（Developing）

蚀刻（Etching）

PDMI及其他特殊工艺

1. SPIN200x硬件规格

1. 驱动单元技术参数

   1.驱动类型：间接无刷电机，最高转速12,000 RPM

   2.控制精度：高加速性能，转速范围1 - 30,000 RPM（需确认实际可达性）

   3.旋转模式：顺时针/逆时针旋转及静态浸润（Puddle Mode）

   4.安装兼容性：支持桌面式与嵌入式模式切换

2. 版本区别