台式原子层沉积系统

GEMStar XT-P：

* 大8英寸/200mm基片沉积（4'和6 '可选）

* 单/双路前驱体输运支管， 4/8路前驱体瓶和CF-40接口

* 装备高性能ICP等离子发生器

  13.56 MHz 的等离子源非常紧凑，只需风冷， 高运行功率达300W。

* 标配3组气流质量控制计（MFC）控制的等离子气源线，和一条MFC控制的运载气体线，使难以沉积的氧化物、氮化物、金属也可以实现均匀沉积。

* 大100 mm 立方体样品 沉积

* 单路前驱体输运支管， 2路前驱体瓶接口

* 主要用于3D多孔材料，以及厚样品的沉积

多样品托盘：

* 多样品夹具，样品尺寸（8", 6", 4"）向下兼容。

* 多基片夹具，多同时容纳9片基片。

温控热托盘：

* 可加热样品托盘， 高温度500℃，可实现热盘-热壁复合加热方式。

粉末沉积盘：

臭氧发生器：

粉末旋转沉积罐模块：

配合热壁加热方式，进一步实现对微纳粉末样品全保型薄膜均匀沉积包覆。 

手套箱接口： 

可从侧面或背面wan美接入手套箱，与从底部接入手套箱不同，不占用手套箱空间。由于主机在手套箱侧面，反应过程中不对手套箱有加热效应，不影响手套箱内温度。